白皮書:半導體製造的氣線加熱係統中的溫度均勻性

經過:- 2022年2月11日


概括

具有氣體線,前肢和排氣管的半導體工具需要精確的加熱和熱過程控製。傳統係統是複雜而笨重的,通常無法提供足夠的熱數據和加熱控製。沒有最佳的熱性能,線路的關閉是不可避免且昂貴的。

Watlow的Streamline™加熱係統,帶有自適應熱係統®(ATS™)技術創建了一個集中的熱係統,具有改善溫度均勻性,占用範圍,廣泛的診斷和更快的開發時間。

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